2020年9月30日上午，中国科学院微电子所周维虎教授应邀在测绘与地理信息学院602会议室做了题为“先进制造中精密测量技术与设备研究进展”的学术报告。我院全体教师和研究生参加了此次报告会，报告会由曹连海院长主持并作总结发言。

周教授介绍了目前光电技术研发中心的主要研究方向，即集成电路制造装备和基于光子集成的新型光电系统。基于目前的研究成果，周教授详细讲解了激光跟踪仪的测量原理及其关键技术，并播放了运用飞秒激光跟踪仪进行实验的视频。在视频播放结束后，周教授对现有制造技术与方法和原位智能制造系统进行对比，说明了原位智能制造系统在精密制造中的优势。

本次报告会使广大师生对精密测量技术和其中运用的设备情况有了更多的了解，具有很高的学习价值。周维虎教授认真、实干、钻研的研究精神值得广大师生学习。

周维虎教授简介：中国科学院微电子所研究员、博导、光电技术研发中心主任，中国科学院大学岗位教授、博士生导师。主持完成40余项课题研究，获得省部级科技奖励6项，发表论文120余篇，申请专利30余项，编写教材l部，起草国家计量检定规程和规范4部。目前主要研究方向为光电精密测量技术与仪器、集成电路光学检测技术与装备、飞秒激光测量技术、大尺寸几何量计量测试技术、先进制造激光在线测量等。